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微纳加工技术在各类传感器件中的应用

评论:0 发布时间:2019-01-03 10:46:00.0
行业领域:制造业 —— 电气机械和器材制造业
专利信息: 非专利技术
成熟度: 通过中试
技术合作方式: 完全转让 许可转让 技术入股 合作生产 其他
技术推广方式: 正在技术推广
技术交易价格: 面议
  • 信息描述
应用行业领域 装备制造-通用机械
适用范围 传感器技术和MENS器件以及纳米材料等
成果内容简介

一、成果(技术)简介:

      综合利用磁控溅射、电子束溅射以及紫外曝光、离子束刻蚀、反应离子束刻蚀、聚焦离子束刻蚀等先进的微加工技术制作各种传感器、MENS器件、纳米材料等,不仅具有新产品开发、研制能力,同时具有中试和小批量生产能力。

二、主要技术特点(指标):

      可以实现多层金属、绝缘体以及氧化物的纳米和亚微米量级的薄膜制备,紫外曝光最小线宽可达2-3微米,多层对准的套刻技术。

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